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SURAGUS EddyCus® TF 在线式薄膜电阻和厚度测试仪(方阻测试仪)


 

 

 

 

 

 

TF 系列产物是一款合适尝试室研发或制品检测利用的在线薄膜面电阻(方块电阻)及薄膜厚度丈量的仪器。

手艺特色

非打仗与及时丈量
切确丈量
高度可变性和矫捷性
在真空内-和真空外的处理计划
牢固传感器和穿梭式处理计划
单线和多线处理计划
高达每秒1000次的高采样率

参数

面电阻(方块电阻)(欧姆/平方)
金属层厚度(nm、μm)
金属基板厚度(μm)
各向同性
缺点
完全性评定

利用

修建玻璃(LowE)
触摸屏战争板显现器
OLED和LED利用
智能玻璃的利用
通明防静电铝箔
光伏
半导体
除冰和加热利用
电池和燃料电池
包装资料

资料

金属薄膜和栅格
导电氧化物
纳米线膜
石墨烯、CNT(碳纳米管)、石墨
打印薄膜
导电聚合物(PEDOT:PSS)
其余导电薄膜及资料

规格参数

面电阻(方块电阻)丈量手艺 非打仗式涡传播感器
基板 比方:箔片、玻璃、晶圆,等等
丈量空隙尺寸 5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 mm
传感器对数 / 监控线数 1 - 99
传感器尺寸 (W x L x H) M 型传感器:80 x 100 x 66 mm
S 型传感器:34 x 48 x 117 mm
导电层 金属/ TCOs/ CNTs/ 纳米线/ 石墨烯/ 栅格/ PEDOT/别的

薄膜面阻的规模

低   0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 7 % 切确度
规范  1 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 7 % 切确度
高   10 - 10,000 Ohm / sq; 3 至 8 % 切确度
金属膜的厚度丈量(比方:铝、银、钼、银浆) 2 nm - 2 mm (与薄膜电阻分歧)
别的集成的丈量 金属厚度/光通明性/密度/电性各向同性
情况 在真空外/在真空内 @ T < 60°C / 140°F (按照请求 <90°C / 194°F)
采样率 1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次丈量每秒
硬件触发 5, 12, 24 V
界面 UDP、.Net libraries、TCP、Modbus、摹拟/数字