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SURAGUS EddyCus® TF lab 2020 薄膜电阻和厚度测试仪(方阻测试仪)


 

 

 

 

TF lab系列产物是一款合适尝试室研发或制品检测利用的薄膜面电阻(方块电阻)及薄膜厚度丈量的仪器。

手艺特点

非打仗与及时丈量
切确的单点丈量
根据多层体系的表征请求
由一个易于操纵的软件所指导的手工电阻散布图

参数

面电阻(方块电阻)(欧姆/平方)
金属层厚度(nm、μm)
金属基板厚度(μm)
各向同性
缺点检测
完全性评定

利用

修建玻璃(LowE)
触摸屏战争板显现器
OLED和LED利用
智能玻璃的利用
通明防静电铝箔
光伏
半导体
除冰和加热利用
电池和燃料电池
包装资料

资料

金属薄膜和栅格
导电氧化物
纳米线膜
石墨烯、CNT(碳纳米管)、石墨
打印薄膜
导电聚合物(PEDOT:PSS)
其余导电薄膜及资料

规格参数

面电阻(方块电阻)丈量手艺 非打仗式涡传播感器
基板 比方:箔片、玻璃、晶圆,等等
基板面积 8 inch/ 204 x 204 mm (三面是开放的)
最大样品厚度/传感器空隙 1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm(由最厚的样本肯定)

薄膜面阻的规模

低  0.0001 - 10 Ohm / sq; 1 至 5 % 精度
规范 0.01 - 1,000 Ohm / sq; 1 至 5 % 精度
高  10 - 100,000 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度
金属膜的厚度丈量 (比方:铜):2 nm - 2 mm (与薄膜电阻分歧)
装配尺寸(宽/厚/深) 290 x 140 x 445 mm / 11.4 x 17.5 x 5.5 inch
分量 10 kg
可用特点 薄膜面阻丈量/金属厚度测试仪