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SURAGUS EddyCus® TF map 2525 薄膜电阻和厚度测试仪(方阻测试仪)


 

 

 

 

TF lab系列产物是一款合适尝试室研发或制品检测利用的薄膜面电阻(方块电阻)及薄膜厚度丈量的仪器。

手艺特点

非打仗成像
高剖析度成像(25 至1,000,000 点)
缺点成像
封装层的舆图

参数

面电阻(方块电阻)(欧姆/平方)
金属层厚度(nm、μm)
金属基板厚度(nm、μm)
各向同性
缺点
完全性评定

利用

修建玻璃(LowE)
触摸屏战争板显现器
OLED和LED利用
智能玻璃的利用
通明防静电铝箔
光伏
半导体
除冰和加热利用
电池和燃料电池
包装资料

资料

金属薄膜和栅格
导电氧化物
纳米线膜
石墨烯、CNT(碳纳米管)、石墨
打印薄膜
导电聚合物(PEDOT:PSS)
其余导电薄膜及资料

规格参数

丈量手艺 非打仗式涡传播感器
基板 比方:箔片、玻璃、晶圆,等等
最大扫描面积 10 inch / 254 x 254 mm(按照请求能够更大)
边缘效应批改/解除 对规范尺寸,解除2 mm的边缘
最大样品厚度/传感器空隙 2 / 5 / 10 / 25 mm(由最厚的样本肯定)

面电阻(方块电阻)的规模

低   0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度
规范  1 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度
高   10 - 10,000 Ohm / sq; 4 至 8 % 精度
金属膜的厚度丈量(比方:铝、铜): 2 nm - 2 mm (与薄膜电阻分歧)
扫描间距 1 / 2 / 5 / 10 mm (按照请求的别的尺寸)
每单元时候内丈量点(二次形) 5分钟内10,000个丈量点
30分钟内1,000,000 个丈量点
扫描时候 4 inch / 100 x 100 mm,在0.5至5分钟内(1-10mm 间距)
8 inch / 200 x 200 mm,在1.5至15分钟内(1-10mm 间距)
装配尺寸(宽/厚/深) 549 x 236 x 786(836) mm / 23.6 x 9.05 x 31.5 inch
分量 27 kg
可用特点 薄膜面阻成像
各向同性电阻传感器