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March AP系列等离子洗濯机
批处置等离子洗濯装备


AP300 & AP600

AP1000

AP1500

Nordson MARCH AP 系列批处置真空等离子体系供给了小、中、大三种差别真空腔体尺寸的挑选,不管客户是但愿用于R&D仍是差别品级的出产情况,都能够或许给客户供给工艺接洽关系的、节制持续的、靠得住的、和可反复的真氛围体等离子处置体系。

AP 系列等离子处置机械合适于普遍的等离子洗濯、外表活化和粘接力加强操纵。这些才能可用于半导体封装工场,微电子封装和组装,也能够或许用于医药和性命迷信器件的出产。

等离子处置装备的特色和上风

• 带触摸屏的PLC节制器供给了直观图形界面和及时工艺显现。
• 不管是间接等离子,仍是下流等离子形式,弹性架板布局都能够或许应答各类差别的样品载具。
• 13.56 MHz 射频发生器有主动阻抗调谐,完成了成熟的工艺再现性。
• 专有的软件节制体系天生工艺和出产数据用于统计制成节制。
• 批处置范例,每一个单位都包罗在机械外部,只要要较小的占空中积。
• 泵、腔体、电子节制、13.56 MHz射频源都被封装在一个箱体内。

AP-300和AP-600等离子洗濯机:AP-300和AP-600体系合适多种多样的等离子洗濯、外表活化和改良附出力等操纵。这些才能能够或许用于半导体系体例作、微电子封装和组装、医疗装备和性命迷信器件的制作等。

AP-300体系能够或许合适普遍的工艺气体,包含氩气、氧气、氢气、氦气及氟化气体。经由进程2个规范设置装备摆设的气体流量节制器节制用于较好的气体节制。体系还能够或许选配2路气体,即最多可达4路。

AP-1000等离子洗濯机:搭配HTP(高产能)电极的AP-1000等离子体系是综合了March具备的电极设想和AP-1000的高靠得住性及其良好的工艺性。AP-1000 HTP充实操纵了射频等离子发生的活性离子,不只延长工艺时候并且进步处置平均性。

AP-1000HTP装备4路气体流量节制器,因工艺需要可选周差别的气体包含氩气、氢气和氦气等。
开槽式料盒可竖放于工艺腔内,凡是每一个料盒起码可安排20条引线框,按照料盒尺寸巨细,一炉可最多安排12个料盒。

AP-1500等离子洗濯机:AP-1500体系设想为等离子洁净和外表处置操纵供给出色的机能。程度电极(挂架)可便利多量量装载。

AP-1500体系接纳进步前辈的功率婚配算法和节制体系算法,完成等离子效力进步。直观的触摸屏节制面板可及时监测和节制等离子体处置进程。节制体系具备多级暗码掩护,避免未经受权的人点窜程式。同时保障从第一炉到最初一炉体系机能的分歧性。

AP-1500体系还可供给滑动程度置物架,便利装卸。该体系松散、便于保护的设想使其占用空间很小,该体系只要前面和前面有检验通道。是以,多个体系可并排安排,完成占地空间操纵率的进步。