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March SPHERE晶圆系列等离子洗濯机


StratoSPHERE™

MesoSPHERE™

体系设想用于晶圆处置。Nordson MARCH 的 SPHERE系列等离子体系是合用于晶圆级和3D封装利用的抱负装备。等离子利用包含预处置、灰化/光刻胶/聚合物剥离、介电质刻蚀、晶圆凸点、无机净化去除、晶圆减压等。


Nordson MARCH 的 SPHERE 系列等离子体系是用于典范的后道封装前的晶圆加工的抱负装备,也同时合用于晶圆级封装、3D封装、倒装,和传统封装。专利的腔体设想和节制布局能够完成更短的等离子轮回时候和更低的本钱,和较大产量和较为经济的利用本钱。

SPHERE 系列体系撑持主动拾取和处置圆或方形晶圆/基板,尺寸规模能够笼盖到从75mm到300mm。别的,能够完成带载体或不带载体的薄片晶圆加工,详细利用取决于晶圆厚度。

专利的等离子腔体设想供给了较好的刻蚀分歧性和工艺反复性。等离子首要的利用包含各类百般的刻蚀、灰化、和减压步骤。别的的等离子工艺包含净化去除、外表粗拙化、增添润湿性,和进步焊接和粘接强度。

晶圆洁净 - SPHERE 系列等离子体系用于在晶圆凸点工艺前往除净化,还能够去除无机净化、去除氟和别的卤素净化、去除金属和金属氧化。等离子也能够改良旋涂膜粘接和洁净金属焊盘。

晶圆刻蚀 - 等离子体系预处置晶圆的残留光刻胶和BCB,从头分派图形介电层,线条/光刻胶刻蚀,利用于晶圆资料的附出力加强,去除过剩的塑封资料/环氧树脂,加强金焊料凸点的附出力,晶圆减压削减破裂,进步旋涂膜附出力,洁净铝焊盘。