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March TRAK主动系列等离子洗濯机


      

FlexTRAK™            FlexTRAK™-S

 

FasTRAK™

 

FlexTRAK™ 2MB

 

 

   

FlexTRAK™ CD            FlexTRAK™ CDS

Nordson MARCH TRAK系列气体等离子洁净装备供给了抱负的处置平均性和工艺分歧性.

TRAK系列等离子体系在一个能够或许或许设置装备摆设的平台上供给了优异的等离子处置品质和主动化,为半导体和电子封装范畴实现了高产出率的等离子处置和等离子洗濯计划。等离子腔体按照腔体组件和电极设置装备摆设差别,有才能处置介电质刻蚀工艺、光刻胶处置/灰化、氧化物去除、无机净化洁净和外表活化。

TRAK 体系撑持手动和主动操纵(在线或内置式的取放装配)、SMEMA和SECS/GEM通信和谈,长途用户界面。通用性、较好的平均性、和松散的腔体设想许可可交换的处置设置装备摆设和等离子情势——间接、下流和IFP(无离子)等离子处置选项。

三轴对称的等离子腔体确保产物的一切地位能够或许或许被平均的处置,同时严酷的节制一切工艺参数,确保从产物到产物获得可反复的成果。

• TRAK 的小等离子腔体容量和等离子处置节制使得抱负的轮回周期成为实际,同时它的细微布局削减了占空中积。

• TRAK的通用构架能够或许或许笼盖各类百般的产物情势身分,包含舟、载具、Jedec/Auer舟、条带、叠层资料、晶圆等。

• 按照产物的产量和需要,体系能够或许或许设置装备摆设用于处置从弹夹-弹夹的单条和多条带、引线框架、晶圆处置,自力式机台用于孤岛式出产情况。

• TRAK's SMART 调谐办理体系供给了闭环等离子节制,能够或许或许优化射频体系和最小化调谐时候。体系会主动地从头轮回到等离子筹办状况,和对真空压力变更、温度和差别批量的弥补。

特色和上风

• 较好的利用矫捷性,可用于间接、下流和无离子(专利)等离子,许可非裸露在粒子和UV下的处置。

• 轻易集成为用于差别工艺的装备,包含引线键合、芯片粘接、点胶、塑封和印字。

• 细微的布局,只要要较小的占空中积,一切保护组件都能够或许或许很轻易的从装备后方进入

• 松散、三轴对称腔体和工艺节制用于杰出的工艺平均性

• 较高的出产才能,较短的轮回周期

型号和设置装备摆设

FlexTRAK™ 等离子体系:规范设置装备摆设能够或许或许知足进步前辈的半导体和电子封装行业对等离子洗濯和等离子处置的请求。

FlexTRAK™-S 等离子处置体系:出格设想用于处置大尺寸基板,这个型号有大容量的等离子腔体,9.24升,是规范FlexTRAK容量的两倍。

FasTRAK™ 等离子处置体系:全主动、高产量。这一等离子处置体系用于引线框架条带、层压基板、别的条状微电子元件。由于法式是软件驱动的,并且体系只要要较少的东西和硬件互动就能够或许或许轻易的改换新弹夹或条带尺寸。

FlexTRAK™ 2MB 等离子处置体系:设想用于高产量、在线处置微电子器件在舟、托盘或别的载具上的传输;用于倒装芯片 Underfill(FCUF)工艺预处置的抱负装备。杰出的舟旁路功效优化出产力,多在线等离子模块儿和出产停当型双轨舟物料处置增添了产能。

FlexTRAK™ CD 和 FlexTRAK™ CDS 等离子处置体系:设想用于高产量处置引线框架、条带、层压基板、别的条状微电子元件。CD 型每一个轮回能够或许或许处置多达5条产物,若是是挑选更长的等离子腔体则每一个轮回能够或许或许处置多达10条产物。实现处置后的产物会被前往到统一个弹夹内;对差别的运输体例,参考 FasTRAK 体系。