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RKD 主动酸开封机



 

 

 

 

 

开封结果图

 

 

 

 

 

 

- 立异的软件
- 静态刻蚀时候调理
- 多酸冲刷选项
- 占空中积小

RKD出产的Elite Etch是一台主动混酸开封机,经由过程整合了进步前辈的特色使得它能够或许或许或许或许取得更高的产能。新开封机的设想经由过程将硝酸、硫酸或混酸切确分派到器件上,能够或许或许或许或许加倍疾速和轻易的翻开较邃密的封装,而不会毁伤样品。

RKD Elite Etch 酸开封机内包罗了浩繁工程立异。全体式刻蚀头组件是由高品级的碳化硅加工而成,能够或许或许或许或许杰出的用来抵当酸侵蚀。再加上主动氮气监测和洗濯体系,这一全体设想能够或许或许或许或许在刻蚀后下降残留在刻蚀头上酸的发烟—而对别的没如斯庞杂的设想则是一种罕见景象。咱们这类全体碳化硅选够延长加热时候。

器件压抑组件(压杆芯头)是由手动激活的,设想用于大批的活动。压杆芯头一般环境是缩回的,并且仅当宁静盖完整封闭后才伸出。压杆芯头的垂直挪动保障器件不变在刻蚀头上,从而消弭了不管是器件仍是夹具的挪动。

在每次起头和竣事刻蚀法式后,宁静盖由手动封闭和翻开。封闭宁静盖,起头已体例好的刻蚀步骤的法式,翻开宁静盖将遏制一切刻蚀步骤。一切毗连到刻蚀盘的酸管路由疾速对称压力节点制成,以消弭费事的高温密封题目。

万能型体系设置装备摆设

掌上型键盘
操纵简略不只仅表此刻RKD的软件设想上,即软件会延续查抄和掩护体系避免操纵失误,并且表此刻简略而直观的手持式键盘上。只要要简略的培训,但凡能够或许或许或许或许利用手机的任何职员都能够或许或许或许或许操纵运转Elite Etch开封机。

透风橱的空间长短常名贵的,以是咱们已设想了较小的占空中积,同时加强了每个能够或许或许或许的宁静特征。零丁的热互换器的引入能够或许或许或许或许将废酸温度下降到90摄氏度以下,这许可进一步减小体系尺寸---咱们仅仅利用一个废酸瓶。

预感将来
软件消弭了废酸瓶溢流的危险,能够或许或许或许或许避免Elite Etch在废酸瓶不充足的空间来实现编辑好的刻蚀法式时遏制持续操纵。

RKD Engineering集成了双节制用于一切液体在瓶容器和开封机之间停止耦合。外部毗连是在特氟龙密封的管路内运转的,它能够或许或许或许或许由瓶子盒的任何一端来供给。瓶子容器拆卸内包罗了液体传感器,当酸从任何一个瓶子中泄漏后城市给操纵员收回正告。Elite Etch开封机即能够或许或许或许或许利用500ml美标瓶子,也能够或许或许或许或许利用日本标准的瓶子。

夹具和附件
Elite Etch能够或许或许或许或许利用一切由B&G International (此刻是Nisene Technology Group)供给的附件包、垫片和瞄准板。但是,为了明显下降本钱,并且永久具备设想和切割合用于每个和每只器件范例的垫片和瞄准板的才能和上风,咱们倡议利用 RKD Engineering的μMill. 这台Mil的操纵很是简略,不须要机器工人的专业常识,就能够或许或许或许或许疾速的利用防酸的AFLAS聚合物资料加工实现高品质各类垫片。

体系宁静
对操纵员来讲,在任何开封机上改换酸瓶都具备必然的危险。咱们已设想拆卸了一个通用扭转搭钮使得改换瓶子时不任何费事。这一通用扭转搭钮的具体布局显现以下。别的,瓶子通气体系能够或许或许或许或许避免酸气进入瓶子盒内。

产物规格参数

尺寸 (w x d x h)
开封机: 190 x 318 x 305 mm
瓶子组件: 254 x 127 x 279 mm
分量: 约莫. 35 lbs.(16 Kg)
气体压力: 55 - 70 psi. (N2) or CDA
电源: 90 - 250 VAC
酸温度规模: 20℃- 250℃
酸温度设定值: 1.0℃- 0.1℃
刻蚀腔(可高达): 22 x 22 mm

软件操纵规格
酸的挑选 :发烟硫酸/发烟硝酸/混酸
注重: 一切夹杂比例都是在泵体系外部静态筹办的。

混酸比例 (硝酸到硫酸比例): 9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1

刻蚀后冲刷挑选:发烟硫酸/发烟硝酸/混酸/无冲刷
注重: 酸的冲刷温度设定是按照刻蚀温度主动校准的。

刻蚀时候:1 - 1,800 seconds ( 1秒的增添幅度)
注重: 刻蚀时候能够或许或许或许或许在刻蚀时代静态调剂。

刻蚀情势:
(i) 脉冲刻蚀
(ii) 来去刻蚀 – 酸脉动
刻蚀温度规模:
20℃- 90℃ (硝酸)
20 - 250℃(硫酸)
20 - 100℃ (混酸)

刻蚀剂流量挑选:1 - 6 ml.每分钟(一切酸和混酸)

操纵法式存储:100 个法式存储,非易丧失存储器

软件进级:经由过程RS232或USB毗连电脑

宁静设想特色
EMO告急停电源开关
刻蚀头宁静:超温掩护传感器电路
泄漏查抄传感器: (i) 开封机主体;(ii) 酸瓶盒组件
二级防护:二级防护
酸烟雾下降:废酸热互换以下降酸烟雾

认证和 &行业标准

RoHS
CE
SEMI S-2
SEMI S- 2, 93

体系保护
Elite Etch的平常体系保护是简略并且是自履行的。经由过程从手持键盘节制器上挑选保护法式,大大都的保护法式都能够或许或许或许或许运转,包含 -

温度校准
光学传感器校准
阀的操纵
压鼻操纵
高温气体供给和排挤功效
(Elite Etch从不利用高或高压调压阀,它仅需间接毗连到氮气管路上。)